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像粗糙,但已经显示出清晰的规律:粒子会沿着某些「气流走廊」运动,并在特定的「驻留区」累积。
「但这个模型精度不够。」张京京指出,「它是基于理想化的边界条件,没有考虑实时扰动。」
「所以我们需要赵静团队的AI模型,以及更多的高精度监测数据。」林薇坦然承认,「但数据采集才进行四天,至少还需要三天才能有足够的数据量训练初始模型。而模型训练和验证又需要时间。」
时间,又是时间。
第14天,倒计时114天22小时
两周过去了。良率:百分之三十七点八。
提升幅度可以忽略不计,但时间已经消耗了十四天。倒计时数字从128天跳到了114天,那种压迫感几乎让人窒息。
更让团队沮丧的是,他们开始观察到一种诡异的「间歇性失效」现象:同一批次晶圆,前半部分良率正常,后半部分突然出现大量随机缺陷;或者今天调整了某个参数后良率提升,明天同样的参数却导致良率暴跌。
「这说明污染源不是恒定的。」张京京在深夜的分析会上得出结论,「它时有时无,时强时弱。可能和设备运行状态有关,也可能和环境变化有关。比如,我们发现下午两点到四点,也就是外界气温最高的时候,随机缺陷率会显着上升。」
「因为空调系统负荷增大,气流扰动加剧?」梁志远推测。
「可能,但没有证据。」张京京疲惫地揉着太阳穴,「我们现在的状态就像在黑暗中摸索,偶尔摸到一点线索,但一松手就又消失了。」
这时,赵静发来消息:AI模型的初始训练完成,但验证准确率只有百分之六十七。「模型能捕捉大尺度气流规律,但对微小扰动和突发事件的预测能力不足。我们需要更多样化的训练数据,特别是『异常事件』的数据,比如设备突然启动丶人员快速走动丶门开关等瞬态扰动。」
「但我们不能故意制造异常事件来污染产线。」金秉洙苦笑。
困境陷入了死循环:需要异常数据来提升模型,但不能制造异常;没有精准模型就找不到污染源,良率就无法提升。
第21天,倒计时107天05小时
三周。良率:百分之三十八点一。
名义上比三周前提升了零点三个百分点,但在统计误差范围内,可以视为没有进展。
更严重的是,团队开始出现分裂迹象。生产团队认为研发团队「纸上谈兵」,花大价钱搞什麽AI仿真,却拿不出立竿见影的解决方案。研发团队则认为生产团队「急功近利」,不愿意配合数据采集,总是抱怨预检测拖慢进度。
张京京站在洁净室外的走廊上,透过玻璃看着里面的设备。它们静静地运转着,发出低沉的嗡鸣,每时每刻都在消耗着巨额的资金,电费丶材料费丶设备折旧丶人员成本。按照财务部的估算,这条14nm试产线每运行一天,成本是四百八十万人民币。三周,就是一个亿。
而这一个亿花出去,换来的只是原地踏步。
他感到一种从未有过的无力感。在EUV光源攻关时,虽然艰难,但至少知道问题在哪里,知道该往哪个方向努力。但悬浮粒子问题像一团迷雾,你感觉它就在那里,可当你伸手去抓时,却什麽也抓不到。
加密通讯器震动,是陈醒。
「我在楼下,方便聊聊吗?」
五分钟后,两人坐在园区内的人工湖旁。夜色已深,湖面倒映着研发大楼的灯光,波光粼粼。
「三周了。」陈醒开口,语气平静,听不出责备,「我听说明天你要向董事会提交中期进展报告。」
「我不知道该怎麽写。」张京京罕见地流露出挫败感,「说我们发现了问题?但问题还没解决。说我们有进展?但良率几乎没动。说我们需要更多时间?但时间已经过去了三周,而我们还剩下107天。」
「你觉得问题出在哪里?」陈醒问。
「表面上是技术问题:监测精度不足丶流场复杂丶粒子来源不明。」张京京顿了顿,「但深层可能是……思维范式问题。我们还在用28nm时代的思路来解决14nm的问题。28nm允许一定的污染率,可以通过工艺馀量来补偿;但14nm的容错空间太小了,传统『统计洁净』的思路已经到达极限。」
陈醒点点头,看向湖面:「我最近在读一些建筑学的书。你知道现代洁净室的设计理念起源于什麽时候吗?」
张京京摇头。
「1960年代,美国阿波罗计划。」陈醒说,「当时为了制造登月飞船的精密仪器,需要超净环境。工程师们设计出了第一代层流洁净室:空气从天花板高效过滤器垂直向下流动,像瀑布一样把粒子压向地面排走。这个理念沿用至今,已经六十年了。」
六十年。张京京意识到,他们正在挑战一个沿用了半个世纪的技术范式