第309章 第一道光

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走到光刻机前,拍了拍那台老旧的机器,“这台机器,是东德二十年前的产品。按国际标准,早该淘汰了。但我们没有更好的,只能用这个。”
    “我们的原料,纯度不够,批次不稳。但我们没有外汇进口高纯度的,只能用这个。”
    “我们的车间,洁净度不够,温控不精准。但我们没有钱建超净车间,只能用这个。”
    他顿了顿,声音提高:“但同志们,这些是理由吗?是咱们做不出合格芯片的理由吗?”
    还是没人说话。
    “我说,不是!”赵四重重地说,“设备旧,我们可以改造。材料差,我们可以提纯。环境不好,我们可以想办法控制。这些是困难,但不是绝路!”
    他拿起一片报废的晶圆:“大家看看这个。线条模糊,断线,粘连。问题出在哪?出在我们把每个环节都当成独立的,没有当成一个整体。”
    “光刻不是涂胶、曝光、显影三步就完了。它是一整套工艺。硅片清洗得干净吗?涂胶前表面处理到位吗?胶膜厚度均匀吗?曝光能量够不够?显影时间准不准?后烘温度对不对?”
    他一个个问题抛出来,每个问题都指向一个具体的环节。
    “我们现在要做的,不是抱怨设备不行、材料不行。”赵四放下晶圆,“而是要把这整套工艺,拆解成几十个、几百个细节,每个细节都做到我们能做的最好。设备精度不够,我们就用土办法补偿。材料纯度不够,我们就多道工序提纯。环境控制不好,我们就人工监测,随时调整。”
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    他看向陈启明:“启明,从今天起,你负责建工艺档案。每一次光刻,每一个参数。室温、湿度、胶的批次、涂胶转速、曝光时间、显影浓度、后烘温度。全部记录。做一百次,记录一百次。我们找规律,找最佳参数组合。”
    陈启明眼睛亮了:“对!数据积累!量变引起质变!”
    “林雪,你负责原料。”赵四转向她,“每一批原料进来,先做小样测试。不稳定的,就想办法提纯。没有设备,就用土办法。重结晶、蒸馏、过滤,什么都行。咱们不追求99.99%的纯度,但至少要保证批批稳定。”
    “明白!”
    “张卫东,你带几个人,改造设备。”赵四指着光刻机,“这台老家伙,控制系统太原始。你们研究研究,能不能加装简易的数控?哪怕只是把几个关键参数数字化显示,也能减少人为误差。”
    “这个我能做!”张卫东兴奋起来,“我认识邮电局搞自动控制的,可以请他们帮忙。”
    “刘工,你们上海组的老师傅们,”赵四看向老工人们,“经验最宝贵。请大家把操作中的诀窍、注意事项,都总结出来,写成操作规程。新人来了,按规程培训,不走样。”
    刘工用力点头:“赵总工,您放心,这事交给我们。”
    任务分下去了,气氛不一样了。刚才那种黏糊糊的沮丧,被一种具体的、可以着手去做的急切取代。
    “还有,”赵四最后说,“从今天起,咱们改个规矩。”
    所有人都看着他。
    “不做成品率统计了。”赵四说,“改成进步率统计。今天良品率5%,明天能不能到6%?这个月平均5%,下个月能不能到7%?咱们不跟别人比,就跟自己比。每天进步一点点,一个月、一年下来,就是翻天覆地的变化。”
    他顿了顿,声音缓下来:“同志们,我知道大家累,知道大家难。但咱们干的是什么事?是从零开始造芯片!是外国人卡我们脖子的东西!要是轻轻松松就能做成,还用得着咱们这些人拼死拼活吗?”
    “路得一步一步走,山得一寸一寸挖。今天咱们把光刻这道坎迈过去,明天还有扩散,后天还有离子注入。一道坎一道坎地迈,总能走到头。”
    “有没有信心?”
    “有!”吼声在车间里回荡。
    “好,开工!”
    人群散开,各就各位。陈启明立刻找来本子,开始设计工艺记录表。林雪带着王技术员去了仓库,盘点原料批次。张卫东围着光刻机打转,嘴里念念有词。刘工召集老工人,就在车间角落里开起了小会。
    赵四没走。他在车间里转,看每一个工位,问每一个细节。
    他看到年轻的学徒工小周在清洗硅片,动作有些生疏。
    “小周,多大了?”
    “十……十九。”小周紧张得手抖。
    “以前干什么的?”
    “厂里学徒,学钳工。”
    “钳工好啊。”赵四拿起一片清洗好的硅片,对着光看,“知道这是什么吗?”
    “硅片。”
    “知道它将来会变成什么吗?”
    小周摇头。
    “会变成芯片,变成计算机的心脏。”赵四把硅片放回托盘,
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