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星源科技在相继突破MDP-EUV光源、收集镜系统的技术壁垒后，瞬间成了科研界的香饽饽。
就连一些六七十岁的资深工程师也想毛遂自荐，希望可以参与其中。
陈延森并不介意“分蛋糕”，但前提得拿出...
“蔡司镀膜机的精度,在恒温恒湿环境下,确实能控制在0.05到0.1纳米之间。”设备组主任工程师回答得十分肯定。
“那问题来了。”陈延森沉声说道,“既然设备能达标,那为什么每次沉积完10层后,误差还是会有0.12到0.15纳米的波动?”
会议室陷入短暂的沉默。
“可能是沉积过程中的热应力变化导致的。”材料组的工程师推测道,“每次激光沉积都会产生局部热效应,影响后续膜层的附着均匀性。”
“那有没有办法在沉积过程中实时调整激光功率?”陈延森追问。
“理论上可以。”算法组的负责人点头,“但我们得先建立一个足够精确的反馈模型,实时采集镀膜机的数据,动态调整激光参数。”
“那就做。”陈延森果断拍板,“你们算法组牵头,设备组和材料组配合,三天内拿出一个初步的闭环控制方案。”
“三天?”算法组负责人有些迟疑,“这个模型的复杂度很高,数据量也很大……”
“我知道很难。”陈延森语气坚定,“但我们现在没时间慢慢磨。如果这个模型能成功,我们就能把沉积误差控制在0.05纳米以内,整个梯度涂层的工艺就能达到汪象朝提出的标准。”
“明白。”算法组负责人咬了咬牙,“我们拼一把。”
会议继续进行。
“关于冷管理子系统。”陈延森翻到技术文档的下一页,“文档中提到在镜体内部嵌入微通道水热结构,搭配钼合金基底,能有效解决低温损伤问题。这个方案的可行性如何?”
“我们已经做过初步模拟。”光学部的热控工程师回答,“水热通道的设计非常巧妙,水流路径呈螺旋状,既能均匀散热,又不会对镜体结构造成应力破坏。”
“那钼合金基底呢?”
“我们联系了中科院金属所,他们可以提供符合要求的钼合金样品。不过……”工程师顿了顿,“加工难度很大,需要纳米级的精密加工设备。”
“联系一下华科协会沈阳自动化所。”陈延森说,“他们那边有几台超精密五轴机床,应该能搞定。”
“好。”
“还有一个问题。”陈延森指着文档中的电磁场碎屑减急系统部分,“这个系统是用来减少等离子体碎屑对少层膜的冲击的,对吧?”
“没错。”热控工程师点头,“等离子体激发过程中会产生大量碎屑粒子,高速撞击镜面,会导致少层膜损伤。这个电磁场系统可以在碎屑接近镜面时将其偏转,起到保护作用。”
“那这个系统的能耗会不会太高?”
“文档中已经做了优化,使用脉冲式电磁场,能耗控制在可接受范围内。”
“很好。”陈延森合上文档,目光扫过会议室里的众人,“这套方案,几乎涵盖了我们当前面临的所有技术难题,而且每一个环节都有详细的设计和参数。你们觉得,这真的是林南一个人能独立完成的吗?”
众人面面相觑。
“我觉得……不太可能。”设备组主任工程师低声说,“除非他背后有整个顶尖团队的支持。”
“我也不信。”材料组的工程师皱眉,“这种级别的技术方案,至少需要十年以上的EUV光学经验,而林南才多少年资历?”
“那你们觉得是谁?”陈延森问。
“……汪象朝。”光学部的主任工程师迟疑地说出这个名字。
会议室里一片沉默。
“汪象朝已经失踪很久了。”费学低声说,“他上次发邮件说要去闭关,然后就再也没消息了。”
“但你们有没有想过。”陈延森缓缓开口,“如果汪象朝真的在闭关,而他闭关的内容,就是EUV光学系统的核心技术攻关呢?”
“……”
“不管这套方案是谁写的,我们现在要做的是尽快复现它。”陈延森站起身,语气坚定,“我给你们一个礼拜的时间,必须完成镀膜工艺的闭环控制模型、冷管理子系统的初步搭建,以及电磁场碎屑减急系统的实验验证。”
“是!”
众人纷纷起身,迅速散去,投入到紧张的实验和建模工作中。
与此同时,林南的办公室里。
他坐在电脑前,盯着那封加密邮件,久久没有动弹。
“……少壳层掠入射椭圆收集镜系统。”
他喃喃自语,眼中满是震惊与敬畏。
这不仅仅是一套光学系统方案,更像是一本EUV光学的“圣经”。
每一个参数、每一个设计、每一个工艺步骤